高壓放電法檢漏儀能夠在5min內(nèi)將系統(tǒng)內(nèi)真空度抽至10^(-5)mBar，即TEM內(nèi)的真空環(huán)境。搭配的超高分辨數(shù)字顯微系統(tǒng)，自帶13寸顯示器及自動變焦功能，放大倍率達(dá)800X， 分辨率達(dá)1微米。研究人員可輕松完成液體池或氣體池的密封性、完整性檢查。并可觀察芯片窗體是否破裂或者污染，檢驗樣品在窗體分布情況。
 

　　高壓放電法檢漏儀的檢測原理：

　　主要應(yīng)用干燥的壓縮空氣為介質(zhì)的半自動或全自動氣密性檢測中，對被測工件充氣加壓（或負(fù)壓）并確定所充氣體是否泄漏。當(dāng)工件和壓縮空氣氣源切斷后，如果被測物發(fā)生泄漏，則測試壓力必然要發(fā)生變化，我們要測量的便是這個壓力變化。通過計算被測物壓力變化，來完成生產(chǎn)線上的被測產(chǎn)品的良莠判定。
 

　　高壓放電法檢漏儀的檢測方法：

　　使用前，先將檢測頭紅色雙線插插到變壓器的高壓輸出插孔內(nèi)。然后將黑色插頭插入控制輸出插孔內(nèi)，然后接通電源按動手檢按鈕。在高頻發(fā)射器彈簧電極上應(yīng)有強(qiáng)烈火花躍出，并發(fā)出咝咝聲即可使用，在檢測玻璃儀器或燈泡時，玻璃器件內(nèi)部的游離殘余氣體就發(fā)生電離現(xiàn)象，并由于氣體性質(zhì)不同而產(chǎn)生不同顏色的輝光，從輝光的強(qiáng)度和色彩來確定真空程度。若用本產(chǎn)品來檢測玻璃儀器漏氣點時，將彈簧電極在玻璃面上來回移動，與電極接觸之處就有極亮白點發(fā)現(xiàn)，并有極大電紋發(fā)出，此白點處就是漏氣點。
 

　　以上就是高壓放電法檢漏儀的原理和試驗方法說明，供大家參考！