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低壓放電法檢漏儀的原理及應用領域
更新時間：2025-05-19
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低壓放電法檢漏儀是一種基于氣體放電特性檢測泄漏的設備，其核心原理是通過監測低氣壓環境下氣體放電現象的變化來判斷被測系統的密封性。具體原理可分為以下步驟：
1、氣體電離與放電：在密閉腔體中施加高壓電場，當氣壓降低到一定范圍時，殘余氣體分子被電離產生輝光放電或電暈放電，形成可測量的電流或光信號。
2、泄漏氣體干擾：若被測系統存在泄漏，外部氣體會滲入腔體，改變內部氣體的成分或壓力，導致放電特性(如擊穿電壓、放電電流強度或光譜特征)發生顯著變化。
3、信號分析與定位：通過傳感器捕獲放電參數的異常變化(如電壓波動、電流突增或特定波長光強變化)，結合電路或算法處理，確定泄漏位置及程度。
低壓放電法檢漏儀主要應用于以下領域：
1、真空設備檢測：用于半導體制造、真空鍍膜等行業的腔體、管道密封性檢測，確保高真空環境穩定性。
2、制冷系統檢漏：檢測空調、冰箱等制冷劑循環系統中的微小泄漏，避免冷媒流失導致效率下降。
3、封閉容器質檢：在醫療、化工領域檢查氣罐、密封容器是否存在缺陷，保障存儲安全性。
4、科研實驗監測：應用于高能物理、航天模擬等精密實驗裝置，防止環境氣體干擾實驗結果。
該方法優點在于靈敏度高(可檢測至10?? Pa·m³/s量級)、響應速度快，但對氣體種類選擇性較差，且需在低氣壓環境下操作，適用場景受一定限制。
